|
Двухлучевой сканирующий электронный микроскоп Tescan Solaris
Двухлучевой сканирующий электронный микроскоп Tescan Solaris оснащен двумя колонами электронной Triglav, сочетающей в себе уникальную комбинацию иммерсионной оптики и режима crossover-free для получения изображений с ультравысоким разрешением во всем диапазоне энергий электронного пучка и ионной Orage с галлиевым ионным пучком была разработана для удовлетворения самых строгих требований к пробоподготовке с помощью сфокусированного ионного пучка. Отличительной особенностью микроскопа Tescan Solaris является наличие режима crossover-free — это режим, в котором не происходит уширение электронного пучка, что позволяет получить изображения с высоким разрешением. Микроскоп Tescan Solaris позволяет решать широкий спектр исследовательских задач, например, исследовать морфологию частиц или поверхности, исследовать элементный состав образцов и т.д., поскольку оборудован детекторами ETD, TLD, DBS, EDX, EBSD, STEM 3+, с возможностью работы в BF, DF и HAADF режимах. Необходимо отметить, что микроскоп Tescan Solaris оснащен аналитической системой TOF-SIMS (Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry), которая позволяет определять и легкие элементы, включая литий, водород, углерод или бор, в отличии от энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии.
Год, фирма-изготовитель, страна-изготовитель: 2020, Tescan, Чехия
Технические характеристики: Электронный пучок (E-beam): 0,5 нм при 30 кВ (СПЭМ); 0,6 нм при 15 кВ; 1,2 нм при 2 кВ; Ионный пучок (I-beam): 2,5 нм при 30 кВ; Диапазон ускоряющих напряжений: E-beam: 20 В – 30 кВ; I-beam: 500 В – 30 кВ; Диапазон токов: E-beam: 2,0 пА – 400 нА; I-beam: 0,1 пА – 100 нА.
|